안녕하세요. 저는 희성전자 소재개발팀 강석기 선임입니다.

현재 라인시스템 챔버를 사용 하고 있습니다.  총 두대를 운영 중이고 한대는 작년(18년)도에 입고 되었습니다.

작년에 입고 된 챔버는 정상 작동 중이나 기존에 가지고 있던 챔버가 작동을 하지 않아서 AS 출장 요청 드립니다.

현상은 장비를 가동하면 알람이 작동하고 일정시간 있다가 장비가 자동적으로 셧다운 됩니다.

비전문가 입장이라서 원인은 PID 설정이 안되는 것 같습니다. 유선상으로 상담한 결과 작동 되는 챔버랑 PID 설정값을 똑같이 해도

동일 증상입니다. 하여 AS출장 요청 드립니다. 폐사 고객사와 일정으로 수리 완료는 1월 25일까지 잡고 있습니다.

참조 부탁드리고 일정 회신 메일 혹은 유선상으로 부탁 드립니다.

감사합니다.